정전 방식의 가스·먼지 동시 저감장치 개발

정전 방식의 가스·먼지 동시 저감장치 개발

국내 연구진이 정전 방식으로 가스와 먼지를 한꺼번에 줄일 수 있는 장치를 세계 최초로 개발하였습니다. 이를 통해 기존의 설비 규모를 30% 가량 줄일 수 있다고 하는군요.

(이미지 출처 : https://www.kidd.co.kr)

반도체를 만드는 과정에서는 아주 미세한 먼지 하나도 커다란 위험 요소가 되는데요. 그런만큼 깨끗하고 청정한 환경을 만들고 유지하기 위한 시스템에 많은 노력과 투자를 하고 있습니다.

이번에 개발된 장치는 정전 전처리 산화 환원 및 습식 전기집진 통합형 시스템으로 기존의 방식은 고온과 저온 처리를 거쳐야만 했는데요. 새로 개발된 장치는 저온 처리만으로도 가능하다고 합니다.

이 시스템을 적용하면 기존 설비를 30% 절감할 수 있어 그만큼 생산 설비를 확충할 수 있으며 그로 인해 생산 효율을 더욱 끌어올릴 수 있을 것으로 기대되고 있습니다.

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